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高精度、高真空度光学元件离子束修形系统

  • 技术领域:先进制造
  • 合作方式:合作开发
  • 技术国别:中国
  • 投资规模:面议
  • 应用领域:自动化
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项目简介

本设备属于高精度、高真空度、高洁净度大型非接触式制造装备,涉及大型不锈钢机床真空洁净设计与制造、真空室框架-机床整机刚度匹配优化设计、弱刚度支撑机床刚柔耦合系统精度保障、面向离子束加工的多轴数控系统集成技术四大核心技术,形成了大型不锈钢机床真空洁净制造工艺体系,能够实现最大Ф4m口径光学元件的高精度离子束修形能力,技术成熟度高。

面向空间遥感、深空探测领域大口径复杂曲面光学元件的离子束加工。

投资与收益:

面议(具体合作方式与投资规模可联系洽谈)

技术特征:

Ф4m口径离子束加工机床X、Y、Z移动轴运动行程≥4.2m×4.2m×0.6m,最大速度100mm/s,最大加速度0.2g,定位精度均优于0.02mm,A、B轴转动行程为±30°,最大速度10°/s,最大加速度20°/s²,定位精度均优于20″,设备负载60kg,最大外包络尺寸:5250mm×5255mm×2505mm,工作真空度为5×10−4Pa,工作温度22±5℃,设备运行过程中系统整体温升≤4℃。Ф1m口径离子束加工机床X、Y、Z移动轴运动行程≥1.15m×1.15m×0.22m,各轴定位精度均优于大加速度X 轴0.2g 、Y 轴0.1g 、Z 轴0.2g ,设备负载10kg ,最大外包络尺寸:2114mm×1796mm×2478mm,工作真空度为5×10-4Pa,工作温度22±5℃。

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