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最大浮起重量：几吨至几千吨；隔振固有频率：1Hz；平台振动速度：最好可达VC-G级。
大口径光学元件原位三维显微测量仪，主要技术指标包括：最大可检测元件口径≥1.2m×1.2m；缺陷检出灵敏度≤280nm；横向分辨力优于300nm；纵向深度定位分辨力优于1μm；准确率≥85%；最大深度＞120μm。
显微视场≥120μm×120μm；水平方向表面显微分辨率≤200nm水平方向亚表面显微分辨率≤300nm；垂直方向测量范围1μm~50μm；垂直方向分辨≤15nm；光滑微结构测倾斜角度≥60°；单一材料台阶高度测量误差≤3%；多层材料台阶高度测量误差≤5%；亚表面缺陷检测深≥110μm；缺陷检出灵敏度≤200nm；深度定位精度≤1μm。
被测宏观尺度不超400mm×400mm；被测微观尺度不小于0.3mm×0.3mm，深宽比不超过10:1；阵列微结构测量路径自动寻优，测量结果不确定度优于1μm；视觉测量过程可自动变焦。
较传统激光干涉测量技术，本技术的仪器稳定性、测量分辨力、测量速度等核心指标均提高一个数量级以上，可在m/s级高速测量下，实现0.1nm级测量精度。
相较于传统测量仪器，独特优势在于：测头集成度极高、体积极小，易嵌入实验装置或精密装备中，可在狭小空间中执行测量任务；测头与主机仅通过单光纤连接，装调便捷且不引入热污染，易达成超精密测量目标。
可实现0~16万转/分全转速稳定运行、额定输出功率6KW、油耗达0.5kg/(kW·h)、功重比为功率等级柴油发电机组的1/3~1/6，低于同体积锂电池；NOx排放＜12ppm，约等于同功率等级柴油发电机组的几百分之一；设计寿命约等于30000小时，为同功率等级柴油发电机组的3倍以上。【典型应用】已成功研制了应用于微小型智能无人系统的数kW量级的两款微型涡轮动力装置产品，分别为无人机辅助电源油电混合动力系统和便携式电源。该成果还可应用于高压比微型离心压气机内部复杂流动机制及其设计技术；高膨胀比微型向心涡轮内部复杂流动机制及其设计技术；微型燃烧室内高效燃烧及低损失流动组织技术；基于模块化设计思想的微型涡轮动力装置总体设计技术。产品原理样机及性能试验
最大输入电压(直流)：24V~100V；最大输出电流：450A；电机类型：永磁同步电机、同步磁阻电机、感应电机；电机最高转速：10000rpm；电机位置接口：AB增量编码器、ABZ增量编码器、磁编码器、旋转变压器。【典型应用】该技术可广泛应用于电动工程车辆领域，包括电动叉车、高空机械、仓储车和电动环卫车等。低压大功率交流电机驱动控制技术
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